Capacitieve druksensor is een soort druksensor die capaciteit gebruikt als een gevoelig element om de gemeten druk om te zetten in een capaciteitswaardeverandering.Dit soort druksensor gebruikt over het algemeen een ronde metalen film of vergulde film als een elektrode van de condensator, wanneer de film de druk voelt en vervormt, verandert de capaciteit tussen de film en de vaste elektrode en kan het elektrische signaal worden uitgang met een bepaalde relatie tussen de spanning door het meetcircuit.
Capacitieve druksensor behoort tot de capacitieve sensor met polaire afstandsvariatie, die kan worden onderverdeeld in een enkele capacitieve druksensor en een differentiële capacitieve druksensor.
De single-capacitieve druksensor bestaat uit een cirkelvormige film en een vaste elektrode.De film vervormt onder invloed van druk, waardoor de capaciteit van de condensator verandert, en de gevoeligheid ervan is ongeveer evenredig met het oppervlak en de druk van de film en omgekeerd evenredig met de spanning van de film en de afstand van de film tot de vaste elektrode .Het andere type vaste elektrode heeft een concave bolvorm en het diafragma is een spanvlak dat rond de omtrek is bevestigd.Het diafragma kan worden gemaakt door middel van plastic vergulden.Dit type is geschikt voor het meten van lage druk en heeft een hoge overbelastingscapaciteit.Een enkele capacitieve druksensor kan ook worden gemaakt van een membraan met een bewegende zuiger om hoge druk te meten.Dit type verkleint het directe compressiegebied van het diafragma, zodat een dunner diafragma kan worden gebruikt om de gevoeligheid te verbeteren.Het is ook geïntegreerd met verschillende compensatie- en beschermingssecties en versterkingscircuits om het anti-interferentievermogen te verbeteren.Deze sensor is geschikt voor dynamische hogedrukmetingen en telemetrie van vliegtuigen.Enkel-capacitieve druksensoren zijn ook verkrijgbaar in microfoontype (dwz microfoontype) en stethoscooptype.
De drukmembraanelektrode van de differentiële capacitieve druksensor bevindt zich tussen twee vaste elektroden om twee condensatoren te vormen.Onder invloed van druk neemt de capaciteit van de ene condensator toe en neemt de andere dienovereenkomstig af, en het meetresultaat wordt uitgevoerd door een differentiaalcircuit.De vaste elektrode is gemaakt van een vergulde laag op een concaaf gebogen glasoppervlak.Het membraan wordt tijdens overbelasting beschermd tegen scheuren door het concave oppervlak.Differentiële capacitieve druksensoren hebben een hogere gevoeligheid en betere lineariteit dan single-capacitieve druksensoren, maar ze zijn moeilijker te verwerken (vooral om symmetrie te garanderen), en ze kunnen geen isolatie van het te meten gas of vloeistof bereiken, dus ze zijn niet geschikt voor het werken in vloeistoffen met corrosieve of onzuiverheden.
Posttijd: 19 juni 2023